DEVICE FOR OXIDATION OF SILICON SUBSTRATES,申请号SU19894629966-传众专利搜索

发明名称	DEVICE FOR OXIDATION OF SILICON SUBSTRATES
摘要
申请公布号	RU1634054(C)	申请公布日期	1994.07.15
申请号	SU19894629966	申请日期	1989.01.02
申请人	NESTEROV A.E.;KONONOV A.N.;KRASNIKOV G.YA.;ZAJTSEV N.A.;ZAJDLIN G.M.	发明人	NESTEROV A.E.;KONONOV A.N.;KRASNIKOV G.YA.;ZAJTSEV N.A.;ZAJDLIN G.M.
分类号	H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316	主分类号	H01L21/316
代理机构		代理人
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