发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06196570(A) 申请公布日期 1994.07.15
申请号 JP19920346899 申请日期 1992.12.25
申请人 SONY CORP 发明人 SUGANO YUKIYASU
分类号 H01L21/304;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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