发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06196635(A) 申请公布日期 1994.07.15
申请号 JP19920346312 申请日期 1992.12.25
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OTOI FUMIO
分类号 H01L21/265;H01L21/02;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/06 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
地址