发明名称 SUBSTRATE CLEANING SOLUTION DROP RECEIVING DEVICE, SUBSTRATE TRANSFER DEVICE, AND SUBSTRATE CLEANING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH06196458(A) 申请公布日期 1994.07.15
申请号 JP19920358317 申请日期 1992.12.25
申请人 SUGAI:KK 发明人 KOYANAGI TETSUO;YAMAGUCHI HIROSHI;UEDA TSUTOMU
分类号 H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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