| 发明名称 |
POSITIONING CONTROL METHOD, FACING METHOD, TUNNELING MICROSCOPE USING IT, AND RECORDING/REPRODUCING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06194157(A) |
申请公布日期 |
1994.07.15 |
| 申请号 |
JP19920346303 |
申请日期 |
1992.12.25 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
YAMAMOTO KEISUKE;OGUCHI TAKAHIRO;SAKAI KUNIHIRO;KURODA AKIRA;SUZUKI YOSHIO;NAKAYAMA MASARU |
| 分类号 |
G01B21/30;G01B7/34;G01Q20/04;G01Q60/10;G01Q60/16;G01Q60/38;G01Q80/00;G05D3/00;G11B9/00;G11B9/14;H01L41/09;(IPC1-7):G01B21/30 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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