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发明名称 AL CVD METHOD
摘要
申请公布号 JPH06196442(A) 申请公布日期 1994.07.15
申请号 JP19920256657 申请日期 1992.09.25
申请人 NEC CORP 发明人 UESUGI FUMIHIKO
分类号 C23C16/20;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 C23C16/20
代理机构 代理人
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