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发明名称 HEAT TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06196491(A) 申请公布日期 1994.07.15
申请号 JP19920347179 申请日期 1992.12.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KAGEYAMA MOKUJI;MATSUSHITA YOSHIAKI
分类号 H01L21/223;H01L21/26;H01L21/322;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
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