| 发明名称 |
DRY ETCHING METHOD FOR AMORPHOUS SILICON, AND MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR USING THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06196451(A) |
申请公布日期 |
1994.07.15 |
| 申请号 |
JP19920343798 |
申请日期 |
1992.12.24 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKANO TAKAO;YORITOMI YOSHIFUMI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/302;H01L29/784 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
