发明名称 PLASMA DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06196421(A) 申请公布日期 1994.07.15
申请号 JP19920357467 申请日期 1992.12.23
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 ARAI HIROKAZU;KOIZUMI KENJIRO
分类号 H01L21/205;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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