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发明名称 MANUFACTURE OF BOTTOM GATE TYPE THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH06196502(A) 申请公布日期 1994.07.15
申请号 JP19920345763 申请日期 1992.12.25
申请人 TDK CORP 发明人 ARAI MICHIO
分类号 H01L21/324;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
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