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发明名称 BEHANDLUNG VON WÜRFELN FÜR INTEGRIERTE SCHALTUNGEN.
摘要
申请公布号 DE3587484(T2) 申请公布日期 1994.07.14
申请号 DE19853587484T 申请日期 1985.03.19
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC. (N.D.GES.DES STAATES DELAWARE), CARROLLTON, TEX. 发明人 BOND, ROBERT, H., CARROLLTON, TX 75007;SWENDROWSKI, STEVEN, THE COLONY, TX 75056;OLLA, MICHAEL, A., FLOWER MOUND, TX 75028;MORRISON, BARRY, L., BEDFORD, TX 76021
分类号 H01L21/67;H01L21/00;H01L21/301;H01L21/52;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/98 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
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