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发明名称 Vorrichtung zur laufenden Beschichtung von bandförmigen Substraten.
摘要
申请公布号 DE59101843(D1) 申请公布日期 1994.07.14
申请号 DE19915001843 申请日期 1991.04.26
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU 发明人 ELVERS, BJOERN, W-6452 HAINBURG 2;RUEBSAM, KLEMENS, W-6485 JOSSGRUND;HEINZ, JOCHEN, W-6307 LINDEN-LEIHGESTERN;HARWARTH, GEORG, W-8755 ALZENAU;REIBOLD, ULRICH, W-6916 WILHELMSFELD;ROSS, NORBERT, W-6457 MAINTAL 4
分类号 C23C14/24;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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