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发明名称 OPTISCHER APPARAT ZUR ANWENDUNG MIT INTERFEROMETRISCHEN MESSGERÄTEN.
摘要
申请公布号 DE3888831(T2) 申请公布日期 1994.07.14
申请号 DE19883888831T 申请日期 1988.12.20
申请人 RENISHAW PLC, WOTTON-UNDER-EDGE, GLOUCESTERSHIRE 发明人 CHANEY, RAYMOND JOHN, BERKELEY, GLOUCESTERSHIRE GL13 9SF
分类号 G01B9/02;G01B11/00;G01B11/26;G01B11/30;G01D5/26;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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