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发明名称 Silicon-resist-Materialien, die Polysiloxane Verbindungen enthalten.
摘要
申请公布号 DE3689692(T2) 申请公布日期 1994.07.14
申请号 DE19863689692T 申请日期 1986.12.16
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA 发明人 ONISHI, YASUOBU, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN;HAYASE, SHUJI, SAIWAI-KU, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA-KEN;HAYASE, RUMIKO, SAIWAI-KU, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA-KEN;HIRATA, AKIKO, CHIBA-SHI, CHIBA-KEN
分类号 C08G77/14;C08G77/26;C08G77/48;C08G77/60;C08L83/16;G03F7/075;(IPC1-7):C08G77/60;C08L83/06;G03F7/26 主分类号 C08G77/14
代理机构 代理人
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