Verfahren und Gerät zum Prüfen der Geometrie von Mehrschichtmustern für integrierte Schaltungsstrukturen.,申请号DE19853587846-传众专利搜索

发明名称	Verfahren und Gerät zum Prüfen der Geometrie von Mehrschichtmustern für integrierte Schaltungsstrukturen.
摘要
申请公布号	DE3587846(D1)	申请公布日期	1994.07.14
申请号	DE19853587846	申请日期	1985.12.20
申请人	HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO	发明人	MAEDA, SHUNJI, YOSHIDACHO TOTSUKA-KU YOKOHAMA;KUBOTA, HITOSHI, FUJISAWA-SHI;FUSHIMI, SATORU, TOTSUKA-KU YOKOHAMA;MAKIHIRA, HIROSHI, KONAN-KU YOKOHAMA;NINOMIYA, TAKANORI, TOTSUKA-KU YOKOHAMA;NAKAGAWA, YASUO, CHIGASAKI-SHI
分类号	H01L21/66;G06T7/00;(IPC1-7):G06F15/70;G01B11/30	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
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