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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Elektrodenmusters.
摘要
申请公布号 DE69102380(D1) 申请公布日期 1994.07.14
申请号 DE19916002380 申请日期 1991.08.27
申请人 IDEMITSU KOSAN CO. LTD., TOKIO/TOKYO 发明人 YUASA, KIMIHIRO, SODEGAURA-SHI, CHIBA-KEN;HASHIMOTO, KENJI, SODEGAURA-SHI, CHIBA-KEN
分类号 B23H9/06;C23F1/18;C23F4/00;G02F1/1343;H01L31/18;H05K3/08;(IPC1-7):G02F1/134;H01L21/28;C23F1/00;H05K3/00 主分类号 B23H9/06
代理机构 代理人
主权项
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