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发明名称 Plasma-Bearbeitungsgerät.
摘要
申请公布号 DE3887933(T2) 申请公布日期 1994.07.14
申请号 DE19883887933T 申请日期 1988.07.05
申请人 KANEBO, LTD., TOKIO/TOKYO 发明人 KONDO, YOSHIKAZU, HOFU CITY YAMAGUCHI PREF.;TSUDA, YUKIO, YOSHIKI-GUN YAMAGUCHI PREF.;YAMAMOTO, TOSHIHIRO, HOFU CITY YAMAGUCHI PREF.
分类号 B29C59/14;C23C16/54;D06M10/02;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32;C23C14/56 主分类号 B29C59/14
代理机构 代理人
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