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发明名称 Halbleitersensorvorrichtung
摘要
申请公布号 DE4400437(A1) 申请公布日期 1994.07.14
申请号 DE19944400437 申请日期 1994.01.10
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 ARAKI, TORU, ITAMI, HYOGO
分类号 G01P15/08;G01P21/00;G01P21/02;G08B29/06;H01L29/84;(IPC1-7):G01R31/02 主分类号 G01P15/08
代理机构 代理人
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