| 发明名称 |
Apparatus for automatically scrubbing a surface. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0369554(B1) |
申请公布日期 |
1994.07.13 |
| 申请号 |
EP19890203096 |
申请日期 |
1988.03.11 |
| 申请人 |
HEWLETT-PACKARD COMPANY |
发明人 |
HUFF, RICHARD E.;PERLAKI, MIKLOS K. |
| 分类号 |
H01L21/66;G01R1/067;G01R1/073;G01R3/00;G01R31/26;G01R31/28;H01R33/76;(IPC1-7):G01R1/073 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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