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发明名称 Soluble fluorinated cycloalkane sulfonate surfactant additives for NH4F/HF oxide etchant solutions.
摘要
申请公布号 EP0201808(B1) 申请公布日期 1994.07.13
申请号 EP19860105979 申请日期 1986.04.30
申请人 HMC PATENTS HOLDING CO., INC. 发明人 HOPKINS, RONALD JAMES;THOMAS, EVAN GOWER;KIETA, HAROLD JOHN
分类号 C23F1/16;C04B41/53;C09K13/08;C23F1/24;H01L21/308;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F1/16
代理机构 代理人
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