| 发明名称 |
Device for ion projection lithography on a reduced or a 1 to 1 scale. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0281549(B1) |
申请公布日期 |
1994.07.13 |
| 申请号 |
EP19880890043 |
申请日期 |
1988.03.04 |
| 申请人 |
IMS IONEN MIKROFABRIKATIONS SYSTEME GESELLSCHAFT M.B.H.;OESTERREICHISCHE INVESTITIONSKREDIT AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
STENGL, GERHARD, DR. |
| 分类号 |
H01J37/10;H01J37/30;H01J37/305;(IPC1-7):H01J37/30;H01J37/317;G03F7/20 |
主分类号 |
H01J37/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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