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发明名称 System for automatic inspection of periodic patterns.
摘要
申请公布号 EP0243639(B1) 申请公布日期 1994.07.13
申请号 EP19870103634 申请日期 1987.03.13
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BATCHELDER, JOHN SAMUEL;BONNER, RAYMOND EUGENE;DOM, BYRON EDWARD;JAFFE, ROBERT STEVEN
分类号 H01L21/66;G01B11/24;G01B11/25;G01N21/88;G01N21/956;G06T1/00;G06T7/00;(IPC1-7):G06F15/70 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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