发明名称 PRODUCTION OF SILICON THIN PLATE
摘要
申请公布号 JPH06191815(A) 申请公布日期 1994.07.12
申请号 JP19920347768 申请日期 1992.12.28
申请人 TONEN CORP 发明人 NAKAMURA OSAMU
分类号 C01B33/02;(IPC1-7):C01B33/02 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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