发明名称 PRODUCTION OF HIGH-PURITY SILICON PIPE AND PRODUCTION OF GRANULAR POLYCRYSTALLINE SILICON BY USING THIS HIGH-PURITY SILICON PIPE
摘要
申请公布号 JPH06191819(A) 申请公布日期 1994.07.12
申请号 JP19920362156 申请日期 1992.12.25
申请人 TONEN CHEM CORP;TOAGOSEI CHEM IND CO LTD 发明人 KOJIMA KITOKU;KOMATSU YOSHINORI;ISHII MASAAKI;TAKATSUNA KAZUTOSHI;SARUWATARI YASUHIRO;ISHIKAWA NOBUHIRO;HIROTA DAISUKE
分类号 C01B33/02;(IPC1-7):C01B33/02 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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