| 发明名称 |
METHOD AND EQUIPMENT FOR PLASMA ENERGIZED MAGNETRON SPUTTERING VAPOR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06192834(A) |
申请公布日期 |
1994.07.12 |
| 申请号 |
JP19930202265 |
申请日期 |
1993.08.16 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT CO |
发明人 |
SAIMON KEE NIE;JIESHII ENU MATOTSUSHIAN;FURANSU JII KURAJIENBURINKU |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/00;C23C14/32;C23C14/35;C23C14/48;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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