| 发明名称 |
CONTROL METHOD FOR POLISHING CONDITION IN POLISHING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06190684(A) |
申请公布日期 |
1994.07.12 |
| 申请号 |
JP19920358124 |
申请日期 |
1992.12.24 |
| 申请人 |
SHARP CORP;SHARP SEIKI KK |
发明人 |
HOTTA MASAKUNI |
| 分类号 |
B23Q15/007;B24B49/16;(IPC1-7):B23Q15/007 |
主分类号 |
B23Q15/007 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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