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发明名称 DRY WASHING METHOD AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH06190269(A) 申请公布日期 1994.07.12
申请号 JP19920347129 申请日期 1992.12.25
申请人 SEIKO EPSON CORP;MORI YUZO 发明人 MORI YOSHIAKI;MIYAGAWA TAKUYA;KURASHINA OSAMU;MURAI MASAMI;MORI YUZO
分类号 B01J19/08;B08B7/00;H01L21/304;(IPC1-7):B01J19/08 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
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