发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06188189(A) 申请公布日期 1994.07.08
申请号 JP19920338329 申请日期 1992.12.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 KUDO SUMIHISA
分类号 H01L21/20;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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