发明名称 FILM SEMICONDUCTOR MATERIAL AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06188190(A) 申请公布日期 1994.07.08
申请号 JP19920356075 申请日期 1992.12.18
申请人 RICOH CO LTD 发明人 KONDO NOBUAKI
分类号 H01L21/20;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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