发明名称 DRY-ETCHING APPARATUS AND METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06188230(A) 申请公布日期 1994.07.08
申请号 JP19920340160 申请日期 1992.12.21
申请人 SHARP CORP 发明人 MORISHITA SATOSHI
分类号 C23F4/00;C23F4/04;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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