| 发明名称 |
EQUIPMENT AND METHOD OF AUTOMATIC SUBSTRATE INSPECTION USING CHARGED PARTICLE BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06188294(A) |
申请公布日期 |
1994.07.08 |
| 申请号 |
JP19930124458 |
申请日期 |
1993.05.26 |
| 申请人 |
KLA INSTR CORP |
发明人 |
DAN MAISUBAAGAA;ARAN DEII BUROODEII;ANIRU EE DESAI;DENISU JII EMUGE;TSUON UEI CHIEN;RICHIYAADO SHIMONZU;DEEBU II EE SUMISU;EIPURIRU DATSUTA;JIEI KAAKUUTSUDO EICHI RAFU;RESURII EE HONFUI;HENRII PIASU PAASHI;JIYON MAKUMAATORII;ERITSUKU MANROO |
| 分类号 |
G01B15/00;G01B15/08;G01N23/04;G01N23/203;G01N23/225;G01R31/28;G01R31/302;G03F1/08;G03F1/16;H01J37/28;H01J37/30;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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