| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FORMING THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06188205(A) |
申请公布日期 |
1994.07.08 |
| 申请号 |
JP19920355686 |
申请日期 |
1992.12.17 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;FUJITSU LTD |
发明人 |
KAWAMURA SHIGERU;SUZUKI HISAYA;OBA TAKAYUKI |
| 分类号 |
C23C16/46;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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