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发明名称
MANUFACTURING METHOD AND DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06188209(A)
申请公布日期
1994.07.08
申请号
JP19920353842
申请日期
1992.12.16
申请人
F T L:KK
发明人
TAKAGI MIKIO
分类号
H01L21/324;H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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