发明名称 Procédé de formation d'un dispositif à effet de champ en silicium.
摘要 <P>On décrit un procédé utilisé à titre de sources d'électrons pour divers éléments d'affichage, des sources lumineuses, des dispositifs de commutation à grande vitesse et des microcapteurs. Dans ce procédé, la pointe de l'émetteur (37), c'est-à-dire la zone d'émission des électrons, est formée par une matière à base de siliciure ayant un point de fusion élevé et une faible fonction de travail, et la matière à base de siliciure est formée à distance prédéterminée d'un film d'oxyde. De la sorte, la caractéristique d'émission de l'émetteur (37) est efficacement renforcée et les courants de fuite sont réduits en raison de l'absence de contamination métallique dans les couches isolantes (32, 33, 34).</P>
申请公布号 FR2700222(A1) 申请公布日期 1994.07.08
申请号 FR19930011173 申请日期 1993.09.20
申请人 SAMSUNG DISPLAY DEVICES CO LTD 发明人 LEE KANGOK
分类号 H01J1/304;H01J9/02;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01J1/304
代理机构 代理人
主权项
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