发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH06188247(A) 申请公布日期 1994.07.08
申请号 JP19920339934 申请日期 1992.12.21
申请人 SHARP CORP 发明人 ONO ATSUSHI
分类号 H01L21/288;C25D7/12;H01L21/321;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/288
代理机构 代理人
主权项
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