发明名称 MANUFACTURE OF BLOCK-SHAPED SUPORT
摘要
申请公布号 JPH06188525(A) 申请公布日期 1994.07.08
申请号 JP19930221035 申请日期 1993.09.06
申请人 发明人
分类号 H01L23/36;H01L25/16;H01L33/62;H01L33/64;H01S5/00;H01S5/02;(IPC1-7):H01S3/18 主分类号 H01L23/36
代理机构 代理人
主权项
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