发明名称 DRY ETCHING
摘要
申请公布号 JPH06188226(A) 申请公布日期 1994.07.08
申请号 JP19920340725 申请日期 1992.12.21
申请人 SONY CORP 发明人 KADOMURA SHINGO
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/339;H01L29/762;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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