发明名称 ETCHING GAS
摘要
申请公布号 JPH06188224(A) 申请公布日期 1994.07.08
申请号 JP19920353844 申请日期 1992.12.16
申请人 NIPPON MOTOROLA LTD 发明人 NAKAJIMA SHINICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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