Anordnung zur Abscheidung einer Schicht auf einer Substratscheibe durch Kathodenstrahlzerstäuben und Verfahren zu deren Betrieb,申请号DE19934325051-传众专利搜索

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发明名称	Anordnung zur Abscheidung einer Schicht auf einer Substratscheibe durch Kathodenstrahlzerstäuben und Verfahren zu deren Betrieb
摘要
申请公布号	DE4325051(C1)	申请公布日期	1994.07.07
申请号	DE19934325051	申请日期	1993.07.26
申请人	SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN	发明人	WERNER, CHRISTOPH, DR., 82152 KRAILLING;KERSCH, ALFRED, DR., 81669 MUENCHEN
分类号	C23C14/34;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/34	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
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