| 发明名称 |
Gegenstand aus Kristall und Verfahren zu seiner Herstellung. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE68913254(T2) |
申请公布日期 |
1994.07.07 |
| 申请号 |
DE1989613254T |
申请日期 |
1989.09.29 |
| 申请人 |
CANON K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
SATO, NOBUHIKO, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN |
| 分类号 |
C30B29/06;C30B19/12;C30B25/18;C30B29/60;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/84;(IPC1-7):C30B25/18 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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