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发明名称 Verfahren zur korrosionshindernden Herstellung einer strukturierten Verbindungsschicht
摘要
申请公布号 DE4040061(C2) 申请公布日期 1994.07.07
申请号 DE19904040061 申请日期 1990.12.14
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 KAWAI, KENJI, ITAMI, HYOGO
分类号 H01L21/3205;H01L21/02;H01L21/321;H01L21/3213;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/90;C23F1/02;C23F1/12;C23F4/00 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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