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发明名称 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON STRUKTUREN UNTER ANWENDUNG EINER STRAHLUNGSINDUZIERTEN PFROPFPOLYMERISATIONSREAKTION.
摘要
申请公布号 DE3889896(D1) 申请公布日期 1994.07.07
申请号 DE19883889896 申请日期 1988.07.11
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO 发明人 MOCHIJI, KOZO, TOKYO 192;OIZUMI, HIROAKI, KOKOBUNJI-SHI TOKYO 185;SODA, YASUNARI, TOKYO 184;OGAWA, TARO, TOKYO 187;KIMURA, TAKESHI, TOKYO 189
分类号 G03C5/00;G03F7/00;G03F7/027;G03F7/038;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):G03C5/00;G03F7/26;G03C1/72 主分类号 G03C5/00
代理机构 代理人
主权项
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