发明名称 THIN-FILM SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06188418(A) 申请公布日期 1994.07.08
申请号 JP19920354940 申请日期 1992.12.18
申请人 FUJI XEROX CO LTD 发明人 YAMADA SOU;HIKIJI TAKETO;YAMADA TAKAYUKI
分类号 H01L21/266;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
主权项
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