| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06188266(A) |
申请公布日期 |
1994.07.08 |
| 申请号 |
JP19920340122 |
申请日期 |
1992.12.21 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
MAEDA SHIGENOBU;MAEKAWA SHIGETO |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
