| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE REACTION FURNACE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06188204(A) |
申请公布日期 |
1994.07.08 |
| 申请号 |
JP19920355175 |
申请日期 |
1992.12.17 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
IKEDA FUMIHIDE;INOKUCHI YASUHIRO;TOMITA MASAYUKI |
| 分类号 |
C30B23/06;H01L21/205;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B23/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
