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发明名称 CRYSTAL GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06188203(A) 申请公布日期 1994.07.08
申请号 JP19920339983 申请日期 1992.12.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 IRIE RYOTARO;OSHIMA TAKU;HIRUMA TAKEYUKI;FUJISAKI YOSHIHISA;ONO TETSUO
分类号 C23C16/44;C23C16/46;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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