发明名称 Verfahren zum Ätzen von (100) Silizium.
摘要
申请公布号 DE3889830(D1) 申请公布日期 1994.07.07
申请号 DE19883889830 申请日期 1988.09.06
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN 发明人 BINDER, JOSEF, DR., DIPL. PHYS., D-8127 IFFELDORF;EHRLER, GUENTER, DIPL. PHYS., D-8024 DEISENHOFEN;REICHERT, HANSJOERG, DR., DIPL. PHYS., D-8000 MUENCHEN 90
分类号 H01L21/306;H01L21/38;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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