Vorrichtung zum Ein-und Ausschleusen von Werkstücken in eine Beschichtungskammer.,申请号DE19883889770-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Vorrichtung zum Ein-und Ausschleusen von Werkstücken in eine Beschichtungskammer.
摘要
申请公布号	DE3889770(D1)	申请公布日期	1994.07.07
申请号	DE19883889770	申请日期	1988.04.14
申请人	LEYBOLD AG, 63450 HANAU	发明人	WALDE, MICHAEL, D-6458 RODENBACH 1;ZEJDA, JAROSLAV, D-6458 RODENBACH 1
分类号	H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68	主分类号	H01L21/68
代理机构		代理人
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