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发明名称 Forming films, e.g. of amorphous silicon.
摘要
申请公布号 EP0327253(B1) 申请公布日期 1994.07.06
申请号 EP19890300731 申请日期 1989.01.26
申请人 MITSUI TOATSU CHEMICALS, INC. 发明人 IGARASHI, TAKASHI;FUKUDA, NOBUHIRO
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32;H01L21/205 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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