| 发明名称 |
METHOD FOR OPTICALLY INSPECTING OF TEST OBJECTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0453880(A3) |
申请公布日期 |
1994.07.06 |
| 申请号 |
EP19910105736 |
申请日期 |
1991.04.11 |
| 申请人 |
FIRMA CARL ZEISS;CARL-ZEISS-STIFTUNG, HANDELND ALS CARL ZEISS;ZEISS CARL FA;ZEISS STIFTUNG |
发明人 |
FREISCHLAD, KLAUS, DR. |
| 分类号 |
G01B11/24;G01M11/00;G01N21/88;G01N21/93;G06T7/00;H04N7/18;(IPC1-7):G06F15/70 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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